美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器
壓力控制器和壓力表結合大量高性能技術特點，為高要求的半導體、氣相沉積和其他超精密制造工藝提供了新的壓力控制準確度和可靠性水平。

美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器

產(chǎn)品特點

- 高精度控制：壓力控制精度高，壓力讀數(shù)精度為±1% of reading，壓力控制精度為±0.2% of f.s.（<10% f.s.）；±1% of reading（>10% to 100% f.s.）。

- 快速響應：響應時間小于1秒（不包括系統(tǒng)時間常數(shù)），能快速對壓力變化做出反應，實現(xiàn)精準控制。

- 全金屬流路：采用全金屬密封流路，表面光潔度達5µinch Ra，材質符合SEMI F20 HP標準，包括316L VIM/ VAR、哈氏合金C - 22等，可確保無顆粒、水分和污染，適用于高純度要求的工藝。

- 多氣體/多量程：部分型號支持多氣體/多量程功能，可存儲和預編程多達10種氣體校準和量程，減少庫存并提高設備通用性。

- 通信與診斷功能：具備數(shù)字通信功能，支持DeviceNet™、RS485 L - protocol等通信協(xié)議，方便與其他設備集成和遠程控制。同時具有獨立的診斷/服務端口，便于設備評估、故障排除和維護。

產(chǎn)品規(guī)格

- 流量范圍：PC115的流量范圍為20sccm - 5slm（僅N?和H?），PC125的流量范圍為10slm（僅N?和H?）。

- 壓力范圍：傳感器壓力范圍為1000托（fs），壓力控制范圍大于2%至100%。

- 工作溫度：溫度范圍為10 - 50°C。

- 泄漏完整性：外部泄漏率最大為1×10?1?atm scc/sec（氦氣）。

應用領域

主要應用于半導體優(yōu)良蝕刻工具、薄膜化學氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）、物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)等對壓力控制精度和純度要求高的領域

美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器

日常維護

- 外觀與連接檢查：檢查控制器外殼有無損傷、腐蝕，金屬密封處有無磨損、變形，確保無泄漏。查看各連接部位，包括管道和電氣連接，保證連接牢固，無松動、滲漏。

- 運行狀態(tài)監(jiān)測：留意控制器的運行聲音，若有異常噪音，可能表示內部有部件故障。觀察壓力顯示值是否穩(wěn)定，若出現(xiàn)波動或異常，需及時排查原因。

定期維護

- 清潔處理：定期打開外殼，用干凈軟布擦拭內部電子元件、電路板上的灰塵。對于金屬密封部件，可用溫和的清潔劑去除油污、雜質，再用清水沖洗并擦干，避免使用腐蝕性清潔劑。

- 性能校準：每年或按使用情況縮短校準周期，使用高精度標準壓力源和測量設備校準，在全量程多點校準并記錄數(shù)據(jù)，偏差超范圍時，需專業(yè)人員調整或送修。

- 部件檢查：查看內部電子元件有無過熱、燒焦、電容鼓包等損壞跡象，及時更換損壞元件。檢查金屬密封的閥芯、閥座等部件，有磨損、損壞時，應修復或更換原廠配件。

環(huán)境維護

- 工作環(huán)境監(jiān)測：確保控制器在規(guī)定的溫度、濕度范圍內工作，避免在高溫、潮濕、有腐蝕性氣體的環(huán)境中使用，遠離振動源和強磁場。

- 安裝位置檢查：定期檢查安裝位置是否正確、牢固，防止管道應力傳遞到控制器上，若管道有振動或位移，應及時調整固定。

記錄與文檔管理

建立詳細的維護記錄檔案，記錄維護時間、內容、校準數(shù)據(jù)、更換部件等信息，以便分析運行狀況，為維修、校準和設備更新提供參考